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不同类型籽晶对多晶硅质量的影响
Influence of different seed crystals on the quality of polycrystalline silicon ingot
张婷
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作者单位:山西中电科新能源技术有限公司
中文关键字:多晶硅锭; 籽晶; 少子寿命; 位错
英文关键字:
中文摘要:多晶硅锭半熔工艺因其具有高性价比及优良的引晶效果,被行业广泛采纳。籽晶的选择是本技术的一个关键环节,为判断何种籽晶更加利于多晶硅锭质量的提升,本文采用了如下方法:采用的籽晶为不同类型的原生多晶硅料,一种是粒径为2-5mm的原生多晶硅颗粒料,另一种是厚度2CM左右的原生多晶板料,将二者铺设在同一个坩埚底部,使其各占一半,使得两种籽晶的生长环境,工艺配方,及影响长晶的其他因素完全一致,进而有利于更好地比较分析不同类型籽晶对硅锭质量的影响。经过对比两种籽晶产出硅锭的晶粒大小,晶粒均匀性,少子寿命以及红外探伤等差异,对比分析两种籽晶的优缺点,发现用粒径为2-5mm的原生多晶硅料做籽晶具有更好的引晶效果。另外,本文所采用的试验方法具有一定的推广性,可运用于实际生产中的试料环节。
英文摘要:
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