文章标题：不同类型籽晶对多晶硅质量的影响
文章作者：张婷 王锋 候炜强 白翔 赵宇飞 符壮
关 键 字：多晶硅锭 籽晶 少子寿命 位错
文章摘要：
采用的籽晶为不同类型的原生多晶硅料,一种是粒径为2～5 mm的原生多晶硅颗粒料;另一种是厚度2 cm左右的原生多晶板料,将二者铺设在同一个坩埚底部,使其各占一半;使得两种籽晶的生长环境,工艺配方及影响长晶的其他因素完全一致,进而有利于更好地比较分析不同类型籽晶对硅锭质量的影响。结果表明,经过对比两种籽晶产出硅锭的晶粒大小,晶粒均匀性,少子寿命以及红外探伤等差异;对比分析两种籽晶的优缺点,发现用粒径为2～5 mm的原生多晶硅料做籽晶具有更好的引晶效果。