《铸造技术》

文章标题:烧结助剂对Si3 N4 陶瓷导热和力学性能 影响研究进展

文章作者:邓 康,胡加斌,胡得胜,魏智磊,史忠旗
关 键 字:氮化硅;烧结助剂;热导率;力学性能;烧结
文章摘要:
功率半导体器件朝着大功率、高频率、高集成方向发展,带来棘手的散热难题,严重威胁其工作稳定性与可 靠性。 Si3 N4陶瓷具有高导热、高强度、热膨胀系数与第Ⅲ代半导体适配等特点,成为高性能陶瓷基板材料的理想之选, 但是不同烧结助剂体系及配比极大影响了Si3 N4陶瓷的烧结过程与产品性能。 因此,如何选用合适的烧结助剂,已成为 当前制备高导热、高强度Si3 N4陶瓷的关键。本文总结了目前制备高导热、高强度Si3 N4陶瓷用氧化物和非氧化物两类烧 结助剂体系的研究现状,分析了不同助剂体系对Si3 N4陶瓷的烧结致密化过程、微观结构调控、导热和力学性能的作用 机理,并展望了高导热、高强度Si3 N4陶瓷用烧结助剂体系未来的发展趋势和研究方向。