文章标题：MOCVD用钨中圈变形失效组织分析
文章作者：杜小平 何伟 李正佳 马红征
关 键 字：钨中圈 二次再结晶 金相 模拟温度
文章摘要：
针对MOCVD外延设备使用国产钨中圈寿命较短的问题,对进口和国产钨中圈进行了金相检测对比分析,并使用ansys软件对钨中圈使用过程中各位置温度变化进行了计算机模拟。结果表明,钨中圈使用失效后,组织由长条状纤维组织转变为等轴晶,部分组织发生了二次再结晶;钨中圈各个位置的晶粒长大的程度不同,这是导致钨中圈的不均匀变形的主要原因,当变形达到一定程度后,钨中圈将失效;国产钨中圈原始组织为轧制态的长条状纤维组织,进口钨中圈原始组织存在一定程度的再结晶,可有效降低并推迟二次再结晶的发生,提高钨中圈使用寿命。