文章下载

文章作者：饶森林张发云罗玉峰熊含梦李云明胡云章娟
关键字：磁场晶体硅固液界面熔体流动
文章摘要：

针对静态磁场和非静态磁场在硅晶体生长中的应用研究现状,综述了磁场对硅晶体生长过程中熔体流动、固液界面形态、杂质含量及分布的影响,重点对比分析了静态磁场与非静态磁场的特点。总结了该应用当前存在的问题,并对未来的技术发展进行了展望。